检索条件： 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 ( 题名 )
责任者 张海洋等编著
出版信息 清华大学出版社 ,2018.02
ISBN 978-7-302-48959-7
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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
张海洋等编著.清华大学出版社,2018.02.
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