题名:
图解入门——半导体器件缺陷与失效分析技术精讲   [ 专著] tu jie ru men——ban dao ti qi jian que xian yu shi xiao fen xi ji shu jing jiang / (日)可靠性技术丛书编辑委员会主编 , (日)二川清编著
ISBN:
978-7-111-74962-2 价格: CNY99.00
语种:
chi
载体形态:
159页 24cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 机械工业出版社 出版日期: 2024
内容提要:
本书共分为四章,内容包括半导体器件缺陷及失效分析技术概要、硅集成电路(LSI)的失效分析技术、功率器件的缺陷及失效分析技术、化合物半导体发光器件的缺陷及失效分析技术。 
主题词:
半导体器件   缺陷
中图分类法:
TN303-64 版次: 5
次要责任者:
二川清 er chuan qing 编著
次要责任者:
上田修 shang tian xiu 著
次要责任者:
山本秀和 shan ben xiu he 著
次要责任者:
李哲洋 li zhe yang 译
附注:
机工通信 CMP BOOKS 
主要团体责任者:
可靠性技术丛书编辑委员会 ke kao xing ji shu cong shu bian ji wei yuan hui 主编
索书号:
TN303-64/glg1029