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题名:
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微电子工艺与装备技术 [ 专著] wei dian zi gong yi yu zhuang bei ji shu / 夏洋，解婧，陈宝钦编著 , |
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ISBN:
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978-7-03-075192-8 价格： CNY88.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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10,227页 图，照片 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2023 |
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内容提要:
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本书介绍微电子制造工艺技术的基本原理、途径、集成方法与设备。主要内容包括：集成电路制造工艺、相关设备、新原理技术及工艺集成。 |
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主题词:
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微电子技术 生产工艺 |
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中图分类法:
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TN405 版次： 5 |
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主要责任者:
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夏洋 xia yang 编著 |
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主要责任者:
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解婧 xie jing 编著 |
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主要责任者:
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陈宝钦 chen bao qin 编著 |
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附注:
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中国科学院大学研究生教材系列 |
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索书号:
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TN405/glg1038 |