|
题名:
|
基于MEMS技术的热梯度器件研究 ji yu MEMS ji shu de re ti du qi jian yan jiu / 聂金泉著 , |
|
ISBN:
|
978-7-5170-7299-7 价格： CNY59.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
192页 图 24cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 中国水利水电出版社 出版日期： 2018.12 |
|
内容提要:
|
本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度器件，设计了一种新型梯度加热器，通过理论分析和数值模拟对器件的温度性能进行优化，并完成温度性能测试。 |
|
主题词:
|
微机电系统 工艺过程设计 |
|
中图分类法:
|
TH-39 版次： 5 |
|
主要责任者:
|
聂金泉 nie jin quan 著 |
|
索书号:
|
TH-39/glg1082 |