|
题名:
|
磁控溅射制备氮化铜薄膜的结构与性能 [ 专著] ci kong jian she zhi bei dan hua tong bao mo de jie gou yu xing neng / 肖剑荣著 , |
|
ISBN:
|
978-7-5170-7439-7 价格： CNY57.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
173页 图 24cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 中国水利水电出版社 出版日期： 2019 |
|
内容提要:
|
本书研究了薄膜的工艺参数、薄膜结构与性能等之间的内在关系，探讨了薄膜的电子输运、光学带隙、热稳定性的有关物理量的变化机制。 |
|
主题词:
|
铜 金属薄膜 |
|
主题词:
|
铜 金属薄膜 |
|
中图分类法:
|
TF811 版次： 5 |
|
主要责任者:
|
肖剑荣 xiao jian rong 著 |
|
索书号:
|
TF811/glg9084 |