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题名:
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半导体制造工艺控制理论 [ 专著] ban dao ti zhi zao gong yi kong zhi li lun / 王少熙[等]著 , |
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ISBN:
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978-7-5612-5953-5 价格： CNY49.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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170页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 西安 出版社： 西北工业大学出版社 出版日期： 2018 |
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内容提要:
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本书从工序能力指数、统计过程控制和实验优化设计三个方面展开，详细讲述三种技术的常规理论和特殊应用方法和模型，并结合具体半导体制造工艺提出解决方案。本书共6章，第1章阐述半导体制造工艺控制理论概念和背景；第2章阐述单变量工序能力指数；第3章阐述多变量工序能力指数；第4章阐述常规过程控制技术；第5章阐述特殊过程控制技术；第6章给出实验设计及工艺表征的理论及应用。 |
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主题词:
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半导体工艺 |
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中图分类法:
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TN305 版次： 5 |
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主要责任者:
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王少熙 wang shao xi 著 |
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索书号:
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TN305/glg1097 |