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题名:
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微电子工艺技术与仿真 [ 专著] wei dian zi gong yi ji shu yu fang zhen / 王强主编 , |
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ISBN:
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978-7-5684-0986-5 价格： CNY35.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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166页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 镇江 出版社： 江苏大学出版社 出版日期： 2018 |
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内容提要:
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本书共8章，从微电子工艺的物理学、晶体学、器件基础开始，根据工艺的复杂程度深入浅出地介绍了晶圆材料的生长于制备、氧化/扩散工艺、光刻工艺、薄膜工艺、等离子工艺、工艺整合和太阳能电池工艺。 |
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主题词:
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微电子技术 生产工艺 |
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中图分类法:
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TN405 版次： 5 |
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主要责任者:
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王强 wang qiang 主编 |
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索书号:
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TN405/glg1016 |