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题名:
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集束型晶圆制造装备调度及其优化算法 [ 专著] ji shu xing jing yuan zhi zao zhuang bei diao du ji qi you hua suan fa / 李林瑛，卢睿著 , |
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ISBN:
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978-7-121-31227-4 价格： CNY85.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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328页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2017 |
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内容提要:
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本书以集束型晶圆制造装备为研究对象，在全面分析其调度特点及调度方法的基础上，分析集束型晶圆制造装备各类调度问题，运用优化调度方法设计了相应的求解方案。 |
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主题词:
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半导体工艺设备 调度 |
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主题词:
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半导体工艺设备 最优化算法 |
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中图分类法:
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TN305 版次： 5 |
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主要责任者:
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李林瑛 li lin ying 著 |
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主要责任者:
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卢睿 lu rui 著 |
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附注:
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辽宁省高等学校优秀人才支持计划、辽宁省教育厅科学研究一般项目、大连外国语大学科研基金项目对本书支持 |
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索书号:
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TN305/glg4041 |