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题名:
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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 / 张海洋等编著 , |
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ISBN:
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978-7-302-48959-7 价格： |
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语种:
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CHI |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 清华大学出版社 出版日期： 2018.02 |
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中图分类法:
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TN405.98 版次： |